国家科技部近日公布了“十四五”国家重点研发计划——《2023年度重点专项》方向的项目评审结果。特发信息作为牵头单位申报的“宽温区MEMS光纤多物理量敏感元件及传感器” 获批。

国家重点研发计划是当前我国级别最高的研发项目，由原来的国家重点基础研究发展计划（973计划）、国家高技术研究发展计划（863计划）、国家科技支撑计划、国际科技合作与交流专项、产业技术研究与开发基金和公益性行业科研专项等整合而成，入选项目均是事关国计民生的重大社会公益性研究，以及事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的战略性、基础性、前瞻性重大科学问题、重大共性关键技术和产品，为我国国民经济和社会发展主要领域提供持续性的支撑和引领。

 

近年来，社会需求的升级对重大装备领域为代表的重点基础设备的实时健康监测，提出了更高要求，从人工巡检到智能传感的技术升级迫在眉睫。受限于电子系统的固有问题，传统MEMS（Micro Electro Mechanical Systems微机电系统）传感器在高温、电磁干扰等极端环境中仍存在局限性。

随着光纤传感技术的蓬勃发展，MEMS与光纤传感技术有机结合的“MEMS光纤传感技术”有望解决这一难题。但目前，MEMS光纤传感技术在智能结构健康监测领域尚处于起步阶段，在实际应用中存在较大的局限性，如何实现宽温区、多参量、高精度测量的MEMS 光纤传感器是当前急需攻克的技术难点。

该项目拟研发的宽温区、多参量、高精度MEMS光纤传感器，旨在突破传统MEMS传感器和光纤传感器的技术限制，为多领域的传感需求提供一种全新的解决方案，从而促进相关应用领域的发展。该项目研发成功后将填补国内MEMS光纤多物理量传感器的空白，提高我国在特种传感器领域的技术水平。

  来源：特发集团